1.四氟化碳可由碳和氟反應、一氧化碳和氟反應、碳化硅和氟反應、氟石氟二氯甲烷和氟化氫、四氯化碳和氟化銀、四氯化碳和氟化氫產生。氫氧化鉻在高溫鎳管中填充四氯化碳與氟化氫的反應。通過水洗和堿洗去酸性氣體，然后冷凍，用硅膠去除氣體中的水分，最后蒸餾成品。

　　2.提前稱5~10g碳化硅粉和0.1g將單質硅粉放入鎳盤中，使硅與碳化硅充分接觸后，將鎳盤放入蒙乃爾合金反應管中，將氟氣放入反應管中。氟首先與單質硅反應。加熱后，氟開始與碳化硅反應，通過等量的干氮稀釋氟，繼續反應，通過液氮冷卻產生的鎳捕集器冷凝氣體，然后慢慢氣化，用氫氧化鈉溶液去除四氟化硅，然后通過硅和五氧化二磷干燥塔獲得最終產品。

　　3.以活性炭和氟為原料制備氟化反應。在裝有活性炭的反應爐中，通過加熱器加熱、氟化速率和反應爐冷卻，慢慢進入高氟氣體，控制反應溫度。產品經過除塵和堿洗滌HF、CoF2、SiF4、CO二等雜質，再脫水可獲得含量約85%的粗品。通過控制蒸餾溫度，將粗品引入低溫蒸餾器進行間歇性蒸餾，去除粗品O2、N2、H2，得到高純CF4。